建 筑 技 术 开 发 Building Technology Development 建筑论坛 Archirectural Forum 第44卷第 17期 2017年9月
发 光 二 极 管 行 业 M O C V D 设 备
工 程 设 计 分 析
罗 桥
(世 源科 技 工程 有 限公 司 ，北京 100142)
[摘 要]简述发光二极管行业MOCVD设备构成、安全措施、工程设计方面的要求及对设计规范的理解，对类似工程建设
项 目提供一定的帮助和参考作用。
[关键词 ]MOCVD；安全措施 ；工程设计
[中图分类号 ]TN312．8 [文献标志码 ]B [文章编号 ]1001-523X (2017)15-0007-02
A nalysis of Engineering Design 0f M o CVD Device in
Light Em itting Diode Industry
LuoQiao
[Abstract]This paper briefly describes the MOCVD equipment structure，safety measures，engineering design requirements and
understandingofdesign specificationsinthelightemittingdiodeindustry．Itwillprovide somehelpand referencefor similarprojects．
[Keywords]MOCVD；safety measures；engineering design
近几年，我国发光二极管 (Light Emitting Diode)产业一
直保持着 良好的发展态势，初步形成从上游衬底、外延，到中
游芯片，再到下游封装、应用产品的完整产业链。作为发光
二极管生产的关键工艺设备 MOCVD (Meta1．Organic Chemical
Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相淀积 )，随着市
场 的发展，生产企业购买此类设备 的数量越 来越多，对于
MOCVD设备的安全措施，工程设计要求，规范的理解等都带
来新的挑战。
1 MOCVD生产工艺
MOCVD是在气相外延生长 (VPE)基础上发展起来的一
种新型外延生长技术，其以II族、Ⅲ族元素的有机化合物和 v
收稿日期 ：2017-06-06
作者简介 ：罗桥 (1965一)，男，四 II宜宾人，高级工程师，主要研
究方向为工业工程、电子生产工艺。
供暖的条件。但 同里镇污水资源和地下水资源非常丰富，可
利用污水处理厂的污水资源建设污水源热泵系统。根据现场
调查显示，古镇区范围内有31口古井，古井原作为镇区内居
民生活水源，但随着城市集 中供水系统的建成使用，古井逐
渐失去了作为生活水源的功能，目前仅有少量居民偶尔用于
浇灌和洗衣。未来可结合古井建设水源热泵系统，满足古井
周边用户的冷 (热)需求。
古镇区结合古井最多可以建设31座水源热泵系统，单座
机组规模按60kW 计，总供热能力约为 1．86MW 。
镇域结合污水处理厂建设的污水源热泵系统，考虑污水
进出水温差约为3"C，污水源热泵供热能力约为21 MW。根据
污水源热泵集中供热系统的输送距离及污水可利用温差分析，
集中污水源热泵冬季采暖适宜输送距离约 1 km，夏季供冷适
宜输送距离约3km，远小于同里镇周边污水处理厂与古镇区
的距离 (5-7km)，所以污水源热泵系统不宜作为古镇区的采
暖、生活热水等热源，宜就近利用。
3 结束语
同里镇 电能和天然气全部依靠外部输入，但输入 的电能
基本来 自四川I清洁的水电，且供应充足可靠 ；天然气属于清
族、Ⅵ族元素的氢化物作为源材料，以热分解反应方式为方法，
通过气相外延在衬底上生长各种兀I．V族、II一Ⅵ族化合物半
导体及其他多元的薄层单晶材料。
LED外延片工艺流程是将衬底 (红、黄光 ：GaAs衬底 ：
蓝、绿光 ：Al：O 衬底)放入 MOCVD系统，在适当温度及压
力下，通入气体 Nit Silt,(红、黄光通入 PH3，AsH3)，用 H：
携带 MO源 (TMGa，TMA1，TMIn，CP2Mg等)至 MOCVD反应
腔体，反应生成适当结构的 LED外延片。这些物质主要是 以
危险化学品为主。利用 MOCVD生长外延材料的过程可描述
如下。
(1)把清洗干净的衬底材料放入石英或不锈钢为材料的
反应室，衬底要放置在能被加热的基座上。
(2)通过气体操作系统，把反应室空气排出，以H’或者
N2为载气精确控制反应源材料进入反应室。
(3)抽真空，炉室逐渐加热，当炉室达到预定的高真空度，
e C C
洁能源，随着周边大型天然气设施建设的推进，同里天然气
的保障能力将极大增强。同里镇可利用的新能源中太阳能和
地热能的可利用条件相对较好，风能装置受古镇保护的限制
较大，生物质能距古镇距离超过合理供应半径。因此，宜优
先发展太阳能，鼓励地热能利用，合理利用风能和生物质能。
同里古镇区范围新能源可利用量分别为 ：理论发电装机容量
27．7MW，年发电量803．6万 kW·h；太阳能供热量6．9万 GJ／年；
水源热泵供热能力 1．86MW。同里镇域 (不含古镇区)范围新
能源可利用量分别为理论发电装机容量183MW，年发电量约
2．7亿 kW ·h：污泥制气2万标准 ／d：污水源热泵供热能力 21MW。
参考文献
[1】林明彻，李晶晶，杨富强．中国可持续能源政策分析【J】．中国能源，
2012，34(6)：6-16．
[2】王当龄，朱健．江苏能源利用的现状与问题分析【J】．能源研究与利
用，2
发光二极管行业MOCVD设备工程设计分析（论文）.pdf
