GB 50781-2012 电子工厂化学品系统工程技术规范.pdf

中华人民共和国国家标准 ~EJ UDC P GB 50781 -2012 电子工厂化学品系统工程技术规范 Te chni ca l cod e for Ch emical System of El ectronic Factory 2012 一 06 - 28 发布 2012 -12 -01 实施 。只u?qo-斗 一元 ,f -n u 句f-AU l m ?。一 5 0。一-A F、ν- ? . TA -AM川1 ··四Aj nv 一 H口- 一一 定 统 一 中华人民共和国住房和城乡建设部 联合发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中华人民共和国国家标准 电子工厂化学品系统工程技术规范 Technical code for Chemical Syst em of E le ctronic Factory GB 50781 -2012 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部 批准部门 :中华人民共和国住房和城乡建设部 施行日期: 2 0 1 2 年 1 2 月 1 日 中国计划出版社 2012 北京 标准分享网 www.bzfxw.com 免费下载 中华人民共和 国国 家标准 电子工厂化学品系 统工 程技术规范 GB 50 78 1-20 12 会 中国计划出 版社出 版 网址: www.jh p ress .co m 地址 ·北京市西 城区水 樨地北 里甲 11号国宏大厦 C座4层 邮政编码: 100038 电话 (010) 63906433 (发行 部〉 新华书 店北京发行 所发行 北京tlt知l印务有限 公司 印刷 850 mm X 1168mm 1/32 2.375 印张 59千字 2012年 11月第 l版 2012年 II月第 l次印刷 会 统一书号 1 580 17 7 ? 938 定价: 15.00 元 版权所有侵权必究 侵权 举报电 话 (010) 63906404 如有印 装 质量 问题 ，请寄本社出版部调换 中华人民共和国住房和城乡建设部公告 第 1434 号 关于发布国家标准 《电子工厂化学品 系统 工 程技术规范 》的公告 现批准 《电子工 厂化 学品 系统 工 程技术规范 》为 国家 标准， 编 号 为 GB 50 781一 20 12，自 20 12年 12月 1 日起 实 施 。 其中，第 3.2 .8(1 、2、3、4) 、6.1. 2、6.1. 5、6.4.2(7) 条 (款) 为强制性 条 文， 必 须严格执 行。 本 规范由我部标准 定额 研 究 所组织中国计划出版社出版发 行 。 中华人民共和国住房和城乡建设部 2012 年 6月 28 日 刚昌 本规范是根据原建设部 《关于 印发 (2007 年工程建设标准规 范制定、修订计划 〉的通知(第 二 批) ))建 标 (2007J 126 号文的要求， 由信息产业电子第十 一设 计研究院科技工程股份有限公司会同有 关单位共同编制完成。 本规范在编制过程中，根据我国集成电路工厂、平板显示器件 工厂和太阳能电池工厂的设计、建造和运行的实际情况，同时考虑 工厂目前的现状，对国外工程公司也进行了调查研究，广泛征求了 全国有关单位与个人意见，并反复修改，最后经审查定稿。 本规范共分 7章，主要内容有:总 则 ，术语、缩略语， 化 学品供 应系统，化学品回收系统，化学品监控及安全系统，相关专业设计， 工程施工及验收。 本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。 本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解 释，工业和信息 化 部负责日常管理，信息产业电子第十 一设 计研究 院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释 。在 执行过程 中有意见和建议请寄至信息产业电子第十 一设计 研究院科技工程 股份有限公司 《电子工厂化学品系统工程技术规范 》管 理组(地址 : 四川成都市双林路 251 号，邮编: 61002 1，传真 :028-84333172) .以 便今后修订时参考 。 本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人: 主编单位: 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份 有限公司 信息产业部电子工程标准定额站 参编单位: 巾国电子系统工程第 二建设有 限公司 ? 1 ? 标准分享网 www.bzfxw.com 免费下载 上海华虹 NEC 电子有限公司 成都爱德工程有限公司 上海正 帆 科技有限公司 冠礼控制科技(上海〉有限公司 液 化 空气上海有限公司 上海兄弟微电子技术有限公司 上海至纯洁净系统科技有限公司 主要起草人 :李骥崔永祥刘序中王开源李东升 王鹏亮张志辉杨春蓉朱海英张家红 简建至杜宝强宋燕周礼誉陈盛云 吴建华巨龙 主要审查人 :陈霖新薛长立路世昌 周向荣刘俊超 冯卫中顾爱军陈奕强毛煌林张悦 ? 2 ? 目次 1 总 则…… … ……… …… ……… …… ………… ……( 1 ) 2 术语、缩略语… …… ……… …… …… …… … ……… ……( 2 ) 2. 1 术语…… ……………………… …… ……… ………… (2 ) 2. 2 缩略语………… …… …… ……… ……… …………… (4 ) 3 化 学品供应系统 ……… …………………… ………… …( 5 ) 3. 1 一般规定 ……… ……… …… ……… …… ………… … ( 5 ) 3. 2 化学品供应设备 ……… ……… ………………… ………( 5 ) 3. 3 化学品供应管道系统 … ………… …… ……… ……… …( 8 ) 3 .4 设备与管道材质…… ……… ……… ……… … ………… (9 ) 3. 5 管道标识 4 化学品回收系统 4. 1 一般规定 (1 0) (1 1 ) (1 1 ) 4.2 化学品回收设备 …… ……… ……… …… ………… ……(11) 4. 3 化学品回收管道…… ……… … …… …………… ……… (1幻 5 化学品监控及安全系统 …… ……………………………(1 3 ) 5.1 一般规定 …… …… ……………